Analyse de franges statiques de précision

Samedi 19 janvier 2008

Le logiciel d'analyse de franges statiques de précision CLARALUNA, nouveau venu dans la famille des logiciels d'interferométrie, parvient à se hisser au niveau de ZYGO et WYKO, pour la mesure de pièces de précision.

L'interférométrie de précision s'orientait il y a encore peu de temps,  vers les interféromètres coûteux tels que ceux utilisant le phase-shifting. Outre le prix de ces équipements, ils restent très sensibles aux perturbations, vibrations et turbulences. Ces dernières sont très néfastes aux mesures de pièces de grandes dimensions et aux grandes cavités.

A l'inverse, les interféromètres à franges statiques sont moins sensibles mais étaient limités par la résolution due à l'échantillonage. Le logiciel d'analyse de franges statiques de précision CLARALUNA brise ces principes en appliquant les méthodes de la prédiction linéaire sur une fonction aléatoire. Il devient alors possible d'atteindre une résolution de lambda/100 pour un front d'onde estimé. La prédiction est encore améliorée en détectant et corrigeant les points aberrants.

Les principes de mesures et les résultats sont présentés dans le document à télécharger.

CLARALUNA est un produit français, édité par OPTICS-CONCEPT.

Manuel Mestre

Analyse de franges statiques de précision
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